◆家碩科技()成立於105年07月，實收資本額：2.256億元。家登自動化股份有限公司成立於2016年，是由原家登精密(3680)設備部門分割轉出，獨立運營之子公司，並更名為家碩科技。主要生產半導體製程中，光罩清洗、光罩交換、光罩儲存及管理設備。除了繼續推廣光罩清洗機及其週邊應用，目前已持續開發在光罩AOI檢測及EUV光罩週邊應用等設備發展;藉由原來的核心技術拓展不同的產業及市場，期待在不同的產業輪動中，能立於不敗。產品服務：光罩清洗機、光罩兩側清洗、大尺寸光罩清洗機、光罩交換機、光罩轉向機、光罩儲存管理、E-rack RFID管理系統、光罩AOI檢測設備、EUV光罩相關檢測設備。112年03月30日公開發行生效。
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